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產品名稱： 半導體行業IH80愛德華幹泵維修簡要描述： 半導體行業IH80愛德華幹泵維修.Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間並提高生產率，同時減小占地麵積、降低運行成本，實現了高的可靠性能。更新時間： 2024-10-28瀏覽次數： 1713
產(chan) 品介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一周 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,石油,能源,電子 |
半導體(ti) 行業(ye) IH80愛德華幹泵維修.Edwards愛德華高級半導體(ti) 真空泵已經過現場應用證明，可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間並提高生產(chan) 率，同時減小占地麵積、降低運行成本，實現了高的可靠性能。
iH 係列真空泵為(wei) 難以執行的製程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chan) 品的 PECVD 和 LPCVD 製程）提供了高可靠xing。通常情況下在使用螺杆泵時，應定期的對螺杆泵進行檢查，發現故障要及時維修。般螺杆泵檢修主要有小修和大修之分，螺杆泵小修的檢查周期用在6個(ge) 月左右，大修的檢查周期應在24個(ge) 月。根據螺杆泵運行狀況及狀態監測結果可適當調整檢修周期。
半導體(ti) 行業(ye) IH80愛德華幹泵維修前準備在檢修螺杆泵前應做好以下準備工作。
①掌握運行情況，備齊必要的圖紙資料。
②備齊檢修工具、量具、配件及材料。
③切斷電源及設備與(yu) 係統聯係，內(nei) 部介質冷卻、吹掃、置換幹淨，符合安全檢修條件。
螺杆泵的拆卸與(yu) 檢查
拆卸螺杆泵時應按以下步驟進行。
①檢查電動機電源；電源應斷開，並將電源開關(guan) 上鎖。檢查出、人口閥門關(guan) 閉情況，若沒有關(guan) 閉，應關(guan) 緊。
②鬆開電動機與(yu) 泵軸之間的聯軸器的連接螺栓，卸下聯軸器。
③拆卸檢查同步齒輪。
對於(yu) 單螺杆泵或三螺杆泵，拆卸泵後端蓋，檢查墊片、止推墊片、軸承、軸向定位塞。
對於(yu) 雙螺杆泵，拆卸泵後端蓋，拆卸檢查軸承及密封。
④拆卸前端蓋，拆卸檢查主、從(cong) 動螺稈及密封。
⑤必要時更換端蓋與(yu) 泵體(ti) 之間墊片。
半導體(ti) 行業(ye) IH80愛德華幹泵維修，超長保固期。
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