GV400愛德華幹式泵幹式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體(ti) 內(nei) 無需潤滑，因而無油氣回漏汙染的問題。透過轉子線形良好的密封效果，壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由於(yu) 排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表麵披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用於(yu) PECVD、Etching等嚴(yan) 苛製程。東(dong) 莞鑰大真空設備有限公司提供Pfeiffer普發、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦裏安、ULVAC愛發科等進口品牌的真空泵 螺杆泵維修保養(yang) 服務

GV400愛德華幹泵維修流程

（1）擦淨零件，疏通油孔 。

（2）把旋片及彈簧裝入高級轉子槽內(nei) 後，把高級轉子裝入泵身內(nei) ，裝上高級泵蓋、肖、螺釘、鍵、軸套等，用手旋轉，應無滯阻和明顯輕重。

（3）低級轉子裝配同上。

（4）裝止回閥葉輪部件，應使止回閥平麵對準進油咀孔二用於(yu) 輕輕擋住葉輪並旋轉轉子，油孔應時開時閉，調整閥頭平麵開啟高度為(wei) 0. 8-1. 1mm。

（5）裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。

（6）把泵部件、鍵、軸套、電機裝在支座上。

（7）裝油箱。

（8）插入進氣咀、氣鎮閥、裝上壓板，螺釘緊固。

注意：

（1）裝配時，各摩擦麵應塗上清潔的真空泵油。

（2）記住零件的原裝配位置，可減少跑合時間。

（3）緊固體(ti) 應無鬆動，緊固時應均勻施力。

（4）對磨損零件應檢查，並酌情修理或調換。

（5）總裝結束後，可以從(cong) 泵進氣口加入少量泵油，然後用手轉動，轉動時，手的感覺應是阻力均勻，無明顯阻滯現象。

我們(men) 將按GV400愛德華幹泵維修流程，為(wei) 客戶保證維修之設備的質量

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