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氦質譜檢漏儀(yi) 故障處理：分子泵不工作

(1)儀(yi) 器界麵上TMP(分子泵的運轉頻率)顯示“0”即分子泵沒有工作。有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為(wei) 200Pa)導致分子泵無法啟動。

檢查導致壓力過高的項目有：真空規管是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太髒或機械泵是否轉動，係統是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉子被損害，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉動。(2)分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲(si) 燒斷，更換保險絲(si) 或檢查是否有短路現象。

(3)分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關(guan) 是否處於(yu) R位置，此時應該在N位置。檢查風扇是否停止，如風扇正常，則可能為(wei) 分子泵電源故障，請與(yu) 廠家聯係。

質譜室無法正常啟動

燈絲(si) 無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處於(yu) 正常工作狀態後，若燈絲(si) 仍無法發射離子流，則需要更換離子源。若燈絲(si) 指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與(yu) 接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲(si) ，若不開路，檢查其接線柱與(yu) 其他接頭是否導通，消除短路現象。

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